我國產業發展和升級使得微電子、微機械、光學和現代超精密加工工業對檢測精度的要求越來越高，同時要求大檢測量程，而其他檢測方法難以勝任，只有激光干涉檢測技術可以在大量程內達到較高的測量精度，所以在高端制造領域得到廣泛應用。如在航天行業的研制、試驗、生產過程中，運用到大量的精密直線位移傳感器，中圖儀器SJ6800激光干涉儀可以對這些傳感器進行精準的檢測。

SJ6800激光干涉儀采用高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償技術、高速數字信號處理系統等技術，通過與不同的光學組件結合，實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準數控機床、三坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標常用的標準儀器。

產品參數

在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形，導致的動態誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

在數控機床檢定中的應用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。數控機床軸定位精度、重復定位精度的檢測。

與其他鏡組配合的應用

SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數的測量，精度和效率都很高。

測長機線性精度、垂直度的測量

在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現高精度校準的重要手段。

傳感器線性精度的測量

SJ6800激光干涉儀用途

1.激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規定標準處理測量數據并打印出誤差曲線，為機床的修正提供可靠依據。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現場使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機上，取代原測長機的坐標系統，作為一般計量室中的長度基準。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標鏜、螺絲磨等精密機床及坐標測量機上作為坐標系統，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預定的間距自動完成檢測和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結合使用是一套高精度長度角度比相計，可作為機床傳動鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統。