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特種建材 HF干法刻蝕系統

特種建材類產品：特種建材 HF干法刻蝕系統，歡迎選購！

價加格	￥ 280000.00
起訂量	≥1 臺
可售量	1000 臺

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供應商：北京天銳良工科技有限公司
聯系姓名：安先生
電話號碼：17310187625
固定電話： -13311096077
經營模式：生產廠家
主營產品：磨拋機, 粘片機, 測試規, 修盤塊, 研磨盤, 拋光盤, 氧化鋁粉, 拋光液, 拋光布, 測厚儀, 顯微鏡,
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規格 :	45023032mm	型號 :	Ebara-EV-S20P
產地 :	英國	品牌 :	SPTS

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本特種建材類產品：特種建材 HF干法刻蝕系統，由北京北京市供應商北京天銳良工科技有限公司供應，詳細信息如下：
　 SPTS公司擁有自主知識產權的無水氫氟酸氣相刻蝕工藝。相比市面上其他廠商以液態氫氟酸氣化或者其他載氣輸運模式，SPTS采用以氣態乙醇作為載氣與氣態氫氟酸混合后對二氧化硅介質進行選擇性蝕刻，并及時處理在反應過程中出現的水汽，真正做到無水刻蝕。一方面體現出對硅襯底，金屬以及低應力氮化硅等都有非常好的選擇性，因為在水汽作用下，金屬等其他材料也會被氫氟酸所腐蝕；另一方面在沒有水汽的環境中供刻蝕釋放的器件不會出現由于液態張力而與襯底表面的粘附性失效。
　 SPTS的HF氫氟酸刻蝕設備提供多方面的工藝可調性，客戶可以根據本身產品的需求在工藝溫度，工藝壓力，各種氣體分壓，各種氣體流量等參數中選擇*適合的參數來優化產品性能。
外形（L*W*H）：450*230*32mm
氣體：HF
壓力：-20Kpa
監管需求：-3psig
加熱：需要
純度：99.9％
極限流：（sccm）1000
平均流：300
合適材料: SS 316L
合適類型：CGA
油缸*大高度：（mm）27.5（700）

關鍵詞：特種建材 特種建材 HF干法刻蝕系統 北京天銳良工科技有限公司

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